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    高能電子衍射儀
    編號:
    15Kv高能電子衍射儀采用發卡鎢燈絲作為陰極材料,利用柵極、陽極形成聚焦透鏡,實現對電子束的小斑點聚焦,電源穩定度優于千分之一,保證電子束的高相干性,提升對晶體表面分析能力,可用于MBE等高真空鍍膜設備的材料表面原位分析。燈絲發卡鎢燈絲工作真空度優于5X10-3Pa電子能量15Kev電子束斑100um安裝法蘭CF35電壓穩定度0.1%燈絲電流1.5A偏轉方式二維電偏轉
    多功能樣品臺
    編號:
    產品概述:沈陽科儀公司生產的多功能樣品臺,采用先進的設計工藝、模塊化設計思路,通過不同的模塊組合,實現自轉、升降差動、高溫抗氧化等功能。SKY樣品臺適用于各種先進的薄膜生長和沉積技術,包括MBE、PLD、磁控濺射和EB等,也可用于襯底退火、高溫除氣和材料改性。其主要模塊包括:自轉耦合模塊、升降模塊、加熱器模塊、樣品托模塊、電刷模塊、安裝法蘭、接線模塊、擋板模塊等。各模塊之間多數采用CF50/CF40/CF16等標準法蘭接口對接,各部分功能介紹如下:自轉耦合模塊主要功能是實現產品自轉,自帶零點限位信號,在此基礎上分成兩種類型,一種附帶差動結構,一種不帶差動結構;升降模塊滿足真空室內部部分的整體移動,有50mm/100mm等幾種標準行程可選擇,其他行程可定制;加熱器模塊有1英寸~8英寸等多種尺寸供選擇,加熱器材質可根據加熱溫度及使用工況等進行選擇;樣品托模塊常用形式有3爪卡口式、底部叉托式和旋轉撥套式等;電刷模塊滿足樣品在自轉過程中的RF或者DC電源的引入需求,可用于樣品清洗或者輔助成膜;安裝法蘭通常根據樣品大小配套成標準CF法蘭,也可客戶化定制;接線模塊主要包括加熱接線端、熱偶接線端、DC/RF接線端三個部分,具體結構根據樣品臺是否需要引入DC/RF電源確定;擋板模塊主要由樣品擋板及其外部驅動構成,采用與升降模塊同步移動的方式,操作更便捷。?產品優勢??1、襯底最高加熱溫度1100℃;??2、可接入RF/DC;??3、自轉,轉速0~20轉/分,連續可調,提供定位零點;??4、模塊化設計允許多種組合配置選擇;??5、樣品尺寸容納8英寸以下。?結構特點??1、直流或射頻偏壓引入模塊,自轉時可接電;??2、氣動小升降模塊,兼顧交接性和保溫性;??3、大升降調節模塊,調節樣品伸出距離;??4、擋板模塊,手動、氣動選配;?性能參數:
    直接轉軸16B+直接轉軸16A
    編號:
    具備CF16/CF25/CF40等多種接口型式采用波紋管傳動方式適用于超高真空系統可實現真空腔室內的旋轉運動無磁
    磁力轉軸
    編號:
    采用磁力耦合的方式控制轉軸;安裝方式為標準CF法蘭,金屬密封,密封性能好,密封件對溫度要求低,適用于高真空及超高真空系統;電機驅動,轉動平穩,速度可調,減速比為2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
    電動磁力轉軸
    編號:
    采用磁力耦合的方式控制轉軸;安裝方式為標準CF法蘭,金屬密封,密封性能好,密封件對溫度要求低,適用于高真空及超高真空系統;電機驅動,轉動平穩,速度可調,減速比為2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
    磁力轉軸
    編號:
    采用磁力耦合的方式控制轉軸;安裝方式為標準CF法蘭,金屬密封,密封性能好,密封件對溫度要求低,適用于高真空及超高真空系統;電機驅動,轉動平穩,速度可調,減速比為2:1;漏率<1×10-8Pa.L/S;
    電動一維升降臺
    編號:
    一維升降臺有兩種驅動方式,分別手動和電動。手動操作時,先標記原始位置,然后一邊轉動手輪一邊觀測指針在標尺上的指示變化,到達所要求的位置即可。電動操作時,先設定零位,然后通過控制電機脈沖數達到要求的位置。電動操作是如需手動調零,可在電機另一軸伸安裝小手輪。手動型精度是1mm,電動型精度0.2mm。功能與特點:1、適用于超高真空系統2、可實現真空腔室內負載的線性運動3、行程60mm/100mm4、接口CF50/C5、采用波紋管結構6、驅動:電動、手動?型號L(mm)BPYFSSJCF50-L6060BPYFDSJCF50-L6060BPYFSSJCF50-L100100BPYFDSJCF50-L100100BPYFSSJCF40-L5050BPYFDSJCF40-L5050BPYFSSJCF40-L100100
    三維升降臺
    編號:
    三維升降臺在一維升降臺基礎上增加X/Y水平調節,采用一體式和分體式兩種結構形式,其功能與特點:1、X/Y方向行程±5(接口CF40)2、X/Y方向行程±12.5(接口CF50)3、采用一體型波紋管4、適用于超高真空系統5、可實現真空腔室內負載的線性運動,及X/Y方向的微調運動6、Z軸采用手動或步進電機驅動,行程100mm?7、手動控制X/Y方向的微調,最大可輸出±12.5的行程8、通常用于調節真空腔室內樣品的交接或檢測位置
    超高真空磁力撥叉
    編號:
    磁力撥叉產品是在線性機械手的基礎上開發出的小型簡易型直線導入機構,除了具有線性機械手的有點外,具有體積小不占空間,易操作等特點。另外前端可加裝搖擺波紋管,或者加裝驅動做成雙動夾持模式?!ゑ詈吓ぞ?.7N.m·主要用于擋板驅動·其他小負載轉動驅動·可在手動款基礎上直接增加電動或氣動模塊
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